二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II #9142648 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855II是一款高度先进的等离子体蚀刻器/asher，专为满足半导体行业的高端需求而设计。它提供了卓越的过程稳定性、低维护、快速准确的处理以及总体提高的产量。它配备了高分辨率12英寸彩色触摸屏、自动化作业调度和文件管理功能,以及用于实时过程监控的Advanced Diagnostics管理设备。TEL UNITYIIE-855 II配有四个相互连接的等离子体腔室，允许最多四种不同类型的基材（如硅片）同时蚀刻或灰化，以提高效率。它可以容纳直径不超过300毫米、厚度不超过25毫米的基板。还包括一个自动化的基板传输系统，以简化作业设置和更快的基板装卸。等离子体室配有高频RF（射频）电源，以及内部磁铁，用于最佳等离子体控制和均匀性。该腔室还由双频发电机供电，可根据蚀刻/灰化要求同时应用直流和射频。一个额外的双频发电机可以安装在室外，以进一步定制。包括TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 II增强单元（ES）作为增强蚀刻/灰化性能的标准。ES允许直接气体注入，这显着提高了工艺的蚀刻/灰化速度，以及优越的清洁和拍打能力。还可以将多个辅助自定义工具连接到ES,以进一步进行自定义。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855I I还配备了多项安全和环境特性，包括气体监测以防止气体超载，以及二级制冷机以确保过程温度稳定一致。此外，该仪器具有低噪声排放，非常适合实验室和制造环境。总体而言，TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855II是一款高度先进和可靠的蚀刻器/asher，旨在满足现代半导体产业的要求。它提供了卓越的过程稳定性、自动化的作业调度和文件管理、双频发电机、气体注入功能以及众多安全功能,可提高效率和产量。