二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II #9236727 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855II是一种为半导体应用而设计的蚀刻/asher设备。它在小型占地计算机中提供各种高级蚀刻/灰烬功能。TEL UNITYIIE-855 II的腔室尺寸为676 x 762 x 457 mm （W x D x H），可以在给定批次中处理大量工件。它支持多种晶圆尺寸,从4"到12", NAD容量最多为62个晶圆。它采用了平行快门蚀刻/灰分方法，使其能够处理具有精确方面比率的均匀薄层。该系统还具有正面三重阵列功能,与传统的蚀刻/灰烬相比,可实现更快的流程。Unity IIe结合了一个多室顺序过程架构，因此过程在重组成一个单室之前分别发生在不同的室中。在一次运行中,最多可以在一个基板上组合九种不同的工艺,并且相应地定制总周期时间。凭借它的模块化设计，诸如螺距转子之类的模具配件也可以快速集成到单元中。Unity IIe有一个原位气体净化机，以减少气体聚变和维护周期。该设备与TEL数字控制器完全兼容，用于自动参数执行和工具监控。Unity IIe采用智能机器人技术进行设计,以确保整个资产操作的精确度,其五轴机器人光束能够进行多频操作,从而实现快速晶圆跨腔室传输。它还具有视觉对齐模型（VAS）,以确保关键的对齐精度,并创建自动OCR和OMS标记。设备的底压水平为令人印象深刻的5 x 10-5 torr，使用基板夹具真空技术可提升至10 X。它还配备了高容量I/O接口，提供了进出主机计算机系统的高效数据流。TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 II是一个高度先进的蚀刻/asher单元,在很小的空间内提供了广泛的功能。它非常适合在蚀刻/灰分过程中需要高精度的半导体应用,一次运行最多可容纳62个晶圆。它具有先进的机器人技术和确保关键的对准精度以及原位气体净化机，以减少气体聚变和维护周期。该工具与TOKYO ELECTRON Digital Controller高度兼容，是一系列应用的理想选择，如薄膜涂层、介电蚀刻和基板图桉。