二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855PP #293764219 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855PP 蚀刻器/asher是为先进半导体制造工艺而设计的先进蚀刻和灰化设备。它非常适合中低容量设备制造,如内存芯片、VLSI/MEMS/和其他复杂设备。蚀刻器/asher配有全封闭的"无窗"腔室设计，通过消除其他系统或环境的自然对流或辐射对晶片表面产生的过程气体和热放电波动，提供最佳的过程控制和均匀性。此外，该室还配备了改进的排气系统，以尽量减少交叉污染，并不断监测所有工艺气体，以改进质量控制。对于工艺均匀性，TEL Unity IIe 855PP 蚀刻器/asher标配旋转器型晶片移位器、自动级、漂移稳定器、等离子体均匀性监测和激光干涉测量技术。旋转器式晶片移位器将加工气体和原子氧均匀地分配到晶片表面上，以提高蚀刻均匀性，而自动级则根据激光干涉测量结果不断调整晶片的位置，以确保整个晶片的加工均匀。漂移稳定器技术采用双镜光学装置分别调整蚀刻和灰化工艺气体，以尽量减少交叉污染和工艺漂移。等离子体均匀性监测机能连续监测等离子体的形状和强度，使过程均匀性最大化，而激光干涉测量工具则能精确测量晶圆表面的位置和速度，从而改进均匀性控制。在安全性方面，TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 PP配备了集成的边缘排除传感器（EES），根据大小和形状自动检测和拒绝晶圆边缘的粒子。此外，蚀刻器/灰化器还配备了CO2气体冲洗资产，以净化加工区域并将颗粒含量降低到接近零。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855PP还能够与TEL专有的数据管理系统连接,从而能够直接从模型库自动编程过程配方。此外，设备还附有直观的用户界面，使用户能够轻松监控和控制蚀刻器/asher的各种功能和参数。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 PP 蚀刻器/asher是专门为中低体积器件制造而设计的先进系统。它结合了先进的腔室设计、均匀性监测系统和安全特性,使其成为寻求最大限度提高设备产量和质量同时最大限度减少浪费的半导体制造商的理想选择。