二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SP #197627 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SP是为精密处理而设计的最先进的蚀刻器/asher设备。它是一个高度可靠和适应性强的系统，能够精确地在各种基板上创建开口、通道和孔。该过程本身以综合软件为指导，该软件优化了蚀刻和灰化参数，以提高吞吐量和提高质量。TEL Unity IIe 855SP利用强大的电子束平台,具有高导电层的快速、精确图样、晶圆曲率/锥度校正以及在不规则或不均匀基板上蚀刻的能力。其直径为2.3nm的光束尺寸，缝合分辨率为0.48µm，均匀度为± 2%，适用于结构精细的高分辨率光致抗蚀剂和基板。电子束阵列速度高达375mm2/hr（取决于工艺参数）。为了确保准确性和统一性，TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SP包括一个专用的扫描光学包和一个功能强大的计算机单元以及一个数据采集/处理套件，用于自动工艺优化。扫描光学器件提供精确的模式控制，并通过使用多达四个电子植入器来确保可重复的层轮廓。机器还有一个先进的控制软件包，可以精确控制从原材料到最终设备的每个过程步骤。它还允许用户控制每个步骤的离子种类、电压、电流和能量。Unity IIe 855 SP的流程配方管理使存储、召回和修改模式更容易实现快速流程自动化。它能够支持光刻、等离子体蚀刻、电子束蒸发等溷合和整体过程。它简单明了的配方设置和监控界面允许结构化的过程开发轻松。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SP是一种为精确处理而设计的可靠高效的蚀刻器/asher工具。它在广泛的基板上创建开口、通道和孔非常高效,并支持灵活的过程自动化以提高准确性和吞吐量。