二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9033646 待售
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ID: 9033646
晶圆大小: 8"
优质的: 2004
Oxide etcher, 8"
Flat-zone wafer type
(2) Chambers
Mass flow controller
GAS #1 C5F8 20
GAS #2 C4F8 20
GAS #3 CF4 100
GAS #4 CHF3 50
GAS #5 CH2F2 50
GAS #6 AR 1,000
GAS #7 O2 50
GAS #8 P-N2 500
Pressure controller
ISO V/V (PC1) VAT 65048-JH52
ISO V/V (PC2) VAT 65048-JH52
Gauge
Baratron MKS 627B-15405
Baratron MKS 627B-15405
Robot YASKAWA VS2C
Robot controller YASKAWA SRC-Ⅱ016
TMP (PC1) EDWARDS STP-A2203W1
TMP Controller (PC1) EDWARDS STP-A2203W1
TMP (PC2) EDWARDS STP-A2203W1
TMP Controller (PC2) EDWARDS STP-A2203W1
Generator (PC1) DAIHEN WGA-30C
Generator (PC2) DAIHEN WGA-30C
Matcher (PC1) DAIHEN AMN-30C11
Matcher Controller (PC1)
Matcher (PC2) DAIHEN AMN-30C11
Matcher Controller (PC2)
EPD (PC1)
EPD (PC2)
T/C TMP Controller
AC RACK (PCB BOARD):
SVA031
Not included:
TEB107
TEB162
GST-M-SET
TVB0008
TC(PCB BOARD)
COM
DIO1
DIO2
DIO3: Not included
MAIO
ILK
PC1 (PCB BOARD):
APC
DIO
MAIO
EPD
COM
TEMP
PC2 (PCB BOARD):
APC: Not included
DIO
MAIO
EPD
COM
TEMP
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SS是下一代单晶圆等离子体蚀刻工具，提供卓越的性能和改进的工艺能力。它具有先进的等离子体源，可以优化过程均匀性，并提供精确的气体控制，不会腐蚀部件。TEL UNITYIIE-855 SS拥有一个获得专利的低温扩散等离子体源,它具有卓越的性能和最大的吞吐量,以及对反应性物质的精确控制。TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS具有高精度晶片级,能够达到-60°C以下的温度。此阶段提供增强的沉积过程,非常适合创建具有所需属性的曲面。晶片级由最先进的电动机和步进线圈设备驱动，确保准确和均匀的能量分配。PC控制的生产系统还包括一个复杂的诊断单元,它提供对蚀刻过程的实时监控,并可以在出现问题时向用户发出警报。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS还配备了完全集成的机器，消除晶圆和真空室之间的粒子和污染物的机械传输。此综合工具可确保最高级别的清洁和过程可重复性。此外，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E 855SS支持使用各种腔室构型，包括化学气相沉积（CVD）和反应性离子蚀刻（RIE）腔室进行蚀刻。TEL UNITY IIE 855 SS还具有节能设计,能够以更快的速度运行,同时比其他蚀刻工具消耗更少的功率。它的高级控制软件允许无人值守操作和自动化配方,方便加载和卸载晶片,以及提供有关生产数据、校准历史和性能信息的集成在线跟踪资产。总体而言,TEL UNITY IIE-855SS是一种高性能蚀刻工具,可提供卓越的工艺能力和更好的成本节约。其先进的技术、节能的设计和全面的控制模型使其成为蚀刻应用的可靠和高效的选择。
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