二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9042813 待售
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ID: 9042813
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Oxide etcher, 8"
(2) Process chambers
Wafer type: flat
Signal tower: (3) lamps, (2) sides (front and back)
chamber type: Unity SCCM 2
Wafer handling type: vacuum load / unload station
Robot arm type: anodized aluminum
Wafer clamp type: ESC
ESC type: ceramic
EPD: both chambers
EPD type: EPD 30X
Transfer chamber configuration:
C/C1 Pressure switch: Leybold PS 113 16014
C/C2 Pressure switch: Leybold PS 113 16014
T/C Convactron: Phillips 275203
T/C CM: MKS 6220 A01 TDE, 1 Pa capacity
PCV Unit: STEC SV-P1000
DC power supply: SANKEN MLT-DCBOX5
Transfer robot: YASKAWA VS2C
RC/ELC1: YASKAWA SRC-II 015
RPA/ELC2: YAWKAWA SRC-II 016
Wafer alignment: YASKAWA VOSJ
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SS是一种蚀刻器/asher,设计用于光刻工艺。它是半自动化的,在易于使用的设计中提供高级功能。TEL UNITYIIE-855 SS采用内置硅酸盐浴的不锈钢罐体和低除尘器构成,提供清洁的工作环境。它还有额外的安全措施,如紧急关闭机制。该装置的化学电阻率高达500欧姆,有助于在整个蚀刻过程中保持埃级工艺的稳定。TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS集成了诊断功能,使故障排除更加容易。该系统配有直观的图形用户界面(GUI),便于使用。控制系统自动监控过程参数,可以轻松调整以优化配方。控制系统可确保每个过程都能获得可重复、可靠的结果。为确保准确性,TEL/TOKYO ELECTRON UNITYIIE-855 SS提供了全面的工艺监控。蚀刻器/asher在每个过程中不断监视并向用户提供反馈。它还可以提供每个过程的数据,例如过程的温度、压力和频率。该单元还提供高级功能,例如保存已完成配方的能力,以及对设备操作进行编程的能力。TEL UNITY IIE-855SS的占地面积很小,最多可处理9个工作站。蚀刻器/asher设计用于批处理操作和单个晶圆操作。它具有广泛的流体,可以在一系列的过程中使用。它具有很高的可编程性,可与各种蚀刻和灰化设备一起使用。UNITY IIE-855SS是一个可靠的,强大的蚀刻和灰烬单元.它提供了高级功能,可帮助确保在执行各种过程时的准确性和可重复性。蚀刻器/asher的设计易于使用,并为客户提供清洁的工作环境。它具有全面的流程监测能力,可以提供有关其每个流程的详细数据。该产品具有广泛的工艺能力,非常适合那些需要快速高效的光刻工艺的人。
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