二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9177764 待售
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ID: 9177764
Oxide etcher
SCCM
RF generator (power supply):
Top: Daihen AGA27AIA
Low pass filter: Daihen HFA-27B
Bottom: Daihen WGA-30A
Matcher:
Top matching box: DAIHEN AMN-30C9
2MHz cut filter: DAIHEN WFL-01A
BTM Matching box: DAIHEN WMN-30E
Matcher controller: DAIHEN CB-13A
Capacitance manometer:
Process monitor: MKS 627B-15405
Process monitor: MKS 33.3 Pa
Pressure control valve:
VAT 65046-PH52-AEP1
P/C Unit box:
Multi DC Power supply: SANKEN MLT-DCBOX5 HV-DC Supply: KYOSAN DC HV-PS AC Servo driver: YASKAWA SED-01 AP
Gas box MFC:
Gas1: C5F8/50 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas2: C4F6/50 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas3: CH2F2/50 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas4: O2/2020 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas5: O2/500 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas6: Ar/1000 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas7: CHF3/100 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas8: CF4/100 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas9: N2/500 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas10: CO/1000 Sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Back pressure MFC:
Edge: He/50 sccm AERA FC-780XC
Center: He/50 sccm AERA FC-780XC
Edge back pressure:
Capacitance manometer: MKS 622A12TBE
Capacitance manometer: MKS 13333.3 Pa
Pressure control valve: STEC SV-P003
Center back pressure:
Capacitance manometer: MKS 622A12TBE
Capacitance manometer: MKS 13333.3 Pa
Pressure control valve: STEC SY-P1203
BA Gauge ANELVA M430HG.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SS是一种蚀刻器/asher,其设计目的是在各种材料上创建高精度的图样。具有多晶片加工的高真空蚀刻/剥离能力。此蚀刻器/asher具有控制软件套件,该套件可自动执行整个蚀刻/蚀刻过程,并具有优化的精度。腔室的设计还确保晶圆表面对操作员的高能见度，同时防止任何颗粒污染。TEL UNITYIIE-855 SS最多可处理8英寸晶圆，加工室容积400升。它采用双频射频发电机，参数自动调整。该腔室还利用低能等离子体源来实现最高的图样精度。对于多种材料，包括硅和有机基板，真空室的温度可以从5摄氏度调节到250摄氏度。它还支持包括Ar、O2,CF4和CHF3在内的多种工艺气体。TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS的设计实现了极高的通量速度，将蚀刻/ashing循环时间缩短了一半。它有一个用于过程监测的CCD摄像机，以及一个用于精确测量颗粒去除效率的伽马射线传感器。它还具有端点检测系统和自动晶圆传输功能，便于自动化操作。用户可以通过以太网连接远程监视蚀刻器/asher的状况。该装置还有一个内置的清洁验证系统，用于监测工艺环境，以确保没有颗粒污染。它还具有在线和离线配方系统,可随时保存和回忆蚀刻/灰度设置。UNITY IIE-855SS是一个强大的蚀刻器/asher设计用于各种材料的精密图案。它以极快的处理速度提供了非常精确的结果,使其成为工业和研究应用的理想设备。
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