二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9236831 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SS是一款精密的蚀刻器/asher，旨在简化和提高基板清洗工艺的精度和精确度。该设备的设计目的是通过在高温环境中使用高压挥发性化学物质，有效和迅速地清除基板上的污染物。该系统包括一个用户友好的触摸屏界面和一个灵活的运动单元，以允许精确蚀刻或灰烬所需。TEL UNITYIIE-855 SS设计为使用高达1000 °C的温度和高达300瓦的功率。该单元有一个506 x 506毫米的加工室，周围有一个16面的闸门和一个专利反射衬里。这有助于保持整个基板上工艺环境的均匀性,并将影响蚀刻过程的热点或不均匀加热风险降至最低。冷却介质输送管用于在过程中在基板上提供精确一致的介质流。该机还包含多种安全功能，如互锁的检修面板、自动安全关机、紧急停止按钮等。该工具还包括一个电源监视器,用于测量电源抽取以确保设备不会过载。此外,TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS包含一个内置的自动诊断功能,允许用户在此过程中随时检查资产性能。这有助于确保模型以最高性能运行。TOKYO ELECTRON UNITY II E 855SS通过使用轮廓调整、基板跟踪、压力和温度调节以及活室成像实现了高级工艺控制。此外，该设备可与其他工具结合使用，以支持更复杂的基材加工。这包括能够以更高的精度和复杂性运行多阶段蚀刻或灰分过程。总体而言，TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SS提供了一个准确、可靠、高效的底物处理系统，可以量身定制以满足每一个应用的需求。该装置设计易于使用和维护，具有先进的安全特性和监控能力，所有这些都确保蚀刻或灰化过程以安全和精确控制的方式进行。UNITY IIE-855SS是各种蚀刻和灰化应用的理想选择，从小批量到大批量的基材。