二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9292571 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SS Etcher/Asher是一种通用的硬件解决方桉,用于蚀刻和灰化光掩模、标线和其他图案化表面。该系统使用多阶段流程来精确控制各种流程的温度、气流和功率水平。TEL UNITYIIE-855 SS具有水解蚀刻室、真空级、过氧化氢浴室和鼓风室，均用于实现更清洁、更均匀的蚀刻或灰化所需的目标材料。TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS的设计允许在单个单元内快速而精确地蚀刻和粉刷光掩模和标线。通过智能过程控制，能够限制晶圆热预算和温度漂移。此外,系统还配备了高灵敏度温度传感器,确保在图样化表面的所有点上保持均匀的蚀刻和灰化条件。这导致更高的准确性和更高的收益率。UNITY IIE 855 SS的水解蚀刻室配备了先进的VCA（电压控制激活）工艺，在广泛的蚀刻和灰化应用中提供一致和可重复的结果。这包括蚀刻、涂层和去除薄层，例如用于处理光掩模和标线的薄层。该腔室还包括一个坚固的负载锁定系统，可有效地装载和卸载基板，提高直通和可靠性。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SS配备了过氧化氢浴池，用于放大、增强和扩展蚀刻和灰化工艺。这种过氧化物浴池还能够去除污染物，为工艺提供更高的精确度。浴室采用温度控制，在被蚀刻或粉刷表面的所有部分保持均匀的蚀刻和粉刷条件。最后，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E 855SS包括一个排空和干燥蚀刻或灰化材料的鼓风室，从而产生更清洁和更均匀的蚀刻或灰化结果。鼓风室配有变速风扇，提高了干燥效率和精度。这种高效的干燥过程最大限度地降低了潜在的成本错误风险,并最大限度地提高了产品产量。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS是光掩模、标线和其他图案化表面的理想蚀刻器和灰化器。它的多功能性、可靠性和精确度使其成为电子制造设施的重要解决方桉,提高了生产效率和产品质量。