二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD #293760242 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 85DD是一种蚀刻器/asher，利用等离子体和化学过程产生小规模的器件，如芯片和电路。这种装置由一个宽370mm、深50mm、高500mm的主腔室和几个容纳待蚀刻材料的内容器组成，如硅片、砷化​​氙和蓝宝石。该设备通过RS-232通信与计算机连接，并以几种工作模式进行结构化，使蚀刻过程完全自动化。TEL Unity IIe 85DD采用先进的蚀刻头设计，喷嘴有四个角度喷嘴和四个同心圆柱形喷嘴。喷射器能够将等离子体或化学物质均匀地输送到工件，从而实现平滑的蚀刻输出。蚀刻过程始于室内气体的组合和60MHz微波发生器产生的能量的供应。这种能量造成等离子体在整个工件上的均匀分布，导致传导电流，导致工料分解。此外，各种化学物质可以与等离子体蚀刻工艺结合使用，以提高其准确性。TOKYO ELECTRON UNITY IIE 85 DD最独特的特点是全自动过程控制能力。它使用闭环控制设备来精确调整工作参数，如温度、压力、暴露时间和等离子体输送速率等。这样可以确保精确的蚀刻结果,并将由于蚀刻条件不正确而造成材料损坏的可能性降至最低。此外，由于系统中存在氧气和湿气传感器，因此能够自动调整蚀刻条件，使所用材料发生变化。最后,UNITY IIE 85 DD提供了广泛的安全功能。腔室内部建有不锈钢真空外壳，以防止热损坏，并防止因机组内突然压力变化而发生事故。该装置还配备了机器视觉机和多个基于传感器的系统，以持续监控过程并确保稳定性。此外,紧急关闭工具允许用户在发生意外事件时快速中止蚀刻过程。