二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD #9219713 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 85DD是一种多室蚀刻器，设计用于处理多种半导体晶片。该装置采用专有的85DD室工艺，可提供快速、准确的蚀刻结果。设备由两个加工室组成，它们共同完成蚀刻过程。第一室能够执行标准蚀刻工艺，如干湿蚀刻，而第二室则专用于预清洗和后蚀刻工艺。这种双室系统可以对不同材料进行高效和准确的蚀刻，而无需手动更改设置。TEL Unity IIe 85DD配备了多气体输送单元和获得专利的电气动气体切换机。该工具允许用户通过精确控制反应性气体和惰性气体的流动来控制蚀刻过程。该单元还配备了PEPE，或称聚合物和能量的等离子体蚀刻，专门设计用于加工聚合物和其他敏感材料。PEPE资产是一种双头激光装置，利用激光能量的超短脉冲在敏感材料中创造小特征。TOKYO ELECTRON UNITY IIE 85 DD是为维护安全环保的最高行业标准而建造的。该单元的密闭穹顶防止在加工过程中产生的空气传播粒子逃逸到室外；此外，该室还配备了氧气监测模型，可自动调节气体的压力和流量，以确保安全运行。其他安全功能包括自动快门操作、集成灭火设备、地面故障中断开关。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 85DD直观的界面为用户提供了方便快捷的访问系统设置。除了设备的集成处理软件外，用户还可以通过智能手机或其他无线设备远程控制设备。UNITY IIE 85 DD是一款适合半导体制造商先进蚀刻需求的优化多功能蚀刻器。其先进的功能、集成的安全系统和直观的用户界面使该单元成为任何半导体蚀刻应用的理想选择。