二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85I EM #9091879 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 85I EM 蚀刻器/asher机是半导体制造工艺中为等离子体蚀刻和干灰化而设计的干蚀刻和灰化设备。该系统设计具有多工作站、多流程功能,允许将多个流程集成到一个系统中。其特点是具有自动清洗和干燥能力的密封室单元，通过控制和可重复的工艺结果减少了材料的破损。TEL UNITY IIE 85IEM的特点是具有低频射频截面的高科技双频发生器，以及在等离子体蚀刻和灰化过程中维持均匀腔室压力的高频源。该机器设计有一个主动感应元件，用于定位和促进选定区域中的蚀刻。活性感受器元素还有助于减少化学侵蚀或蚀刻后的抗蚀剂面膜。TOKYO ELECTRON UNITY II E 85IEM 蚀刻器/asher配备了内部气体成分监测工具，提供精确的等离子体气体成分控制，能够持续分析和监测气体浓度。它还带有坚固的翻盖式门，用于机械化装卸。蚀刻器/asher允许灵活的模式在蚀刻和ashing之间切换,并具有快速且易于编程的配方编程。所有的目标材料参数都可以通过气体流量控制和均匀的基材温度来精确调整。资产还为每个配方加载提供准确的可重复温度配置文件,从而实现简单的设置和快速的作业校正。一个综合的，先进的等离子体蚀刻监测模型与全面的数据记录提供实时配方执行跟踪。TEL UNITY II E 85IEM采用全自动安全设备设计,提供高安全标准以保护操作员、材料和环境。它还附带了一个直观的HMIS软件，带有配方日志记录和多语言支持选项，允许具有不同能力和语言背景的用户轻松操作。TEL Unity IIe 85I EM 蚀刻器/asher是一种有效的半导体制造工艺系统，为最大产量和可重复结果提供可靠的工艺控制。