二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe SCCM #293627313 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe SCCM（底物密闭化学机械抛光系统）是一种最先进的蚀刻器/asher，用于各种半导体应用。顾名思义，TEL Unity IIe SCCM在其蚀刻和抛光操作中结合了化学和机械工艺。它旨在提供业界领先的抛光效果均匀性,同时支持最先进的基板配置。TOKYO ELECTRON UNITY IIe SCCM能够使用HF： H2O2溶液（氢氟酸：过氧化氢）去除底物材料的蚀刻工艺。该过程从放置在蚀刻室中的基板开始，然后一个特殊的喷嘴在低压下将高度受控的蚀刻溶液喷洒到基板上。然后改变HF： H2O2溶液的相对强度,以调整蚀刻发生的速度,从而对蚀刻过程进行极其精确的控制。此外，Unity IIe SCCM还提供机械抛光。作为其集成的CMP（化学机械抛光）平台的一部分，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe SCCM机械抛光基板的不均匀表面。这可以通过使用快速磨料抛光垫或使用低磨料金刚石工具来实现。该过程有助于产生更精细的曲面形态和更平滑的曲面,从而在制造过程中实现无与伦比的精度。此外，TEL Unity IIe SCCM设计具有各种安全功能，包括温度监测和自动气体排放系统。它还配备了一个加压系统，保持内部环境无污染物。此外，它还支持多种基板类型，如硅、铝和其他金属，以及广泛的基板尺寸。总体而言，TOKYO ELECTRON UNITY IIe SCCM是一款高级蚀刻器/asher，能够进行高度精确的蚀刻和机械抛光工艺。它在基板加工方面具有优异的效果，设计具有多种安全特性和广泛的适应性基板类型。由于这些原因，Unity IIe SCCM是任何类型的蚀刻或抛光应用的理想选择。