二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe #293642910 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe是为最严格的应用而设计的精密蚀刻器和asher。这台工业级机器采用直径12英寸的FOUP基板支架，具有6英寸的基板尺寸能力，集成电子束装置，18英寸X射线探测器和可选的激光划刀。它还具有可调节速度的集成转盘和计算机控制的过程。TEL Unity IIe是当今市场上最先进的蚀刻器和分类器之一。它具有处理各种基材的能力，从用于复合半导体生产的石英、砷化氙和​​氙晶片，到用于先进包装的低k电介质，从薄膜光掩模到用于微电子工作的薄膜。TOKYO ELECTRON UNITY IIe的指令集令人印象深刻，可以极精确的控制蚀刻和灰化过程。专用的蚀刻和灰化功能允许对各自的工艺进行独立控制,并实现复杂和复杂的处理。此外,Unity IIe还配备了用于设备操作和参数设置的集中控制面板。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe在底物供应和加工方面也提供了灵活性。它具有Front Open Un-load/Load （FOUP）和手动加载系统的组合,允许用户在手动加载的基板和自动基板之间进行切换。此外,还有一个完整的处理配方库,可存储在系统内存中,并用于自动基板交换过程。作为TEL Unity IIe的另一个功能,有一个集成了18英寸传感器阵列的X射线探测器,用户可以监视蚀刻和灰化过程中的进度。此外，该装置还配备了温度传感器，以确保样品温度在加工周期内保持恒定，从而最大限度地减少缺陷或损坏基板的可能性。TOKYO ELECTRON UNITY IIe是一款高度先进的过程控制机器，为用户提供了一种可以满足他们最苛刻需求的蚀刻和灰化工具。它结合了复杂的组件和直观的操作员界面，使其成为各种研究和生产操作的理想工具。