二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity M 85 TD #9254149 待售
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ID: 9254149
晶圆大小: 8"
Oxide etcher, 8"
Components:
Load Lock Module (LLM)
Transfer chamber
Pre aligner
(2) Process chambers
(3) Gate valves
(2) Bottom RF matchers
(2) Upper electrode cooling fans
(2) ESCs
(2) Baffle plates
(2) Shield rings
(2) Upper electrodes
(2) Pedestals
(2) Quartz insulators
Turbo molecular pump
Focus ring
Ceramic insulator
Quartz pipe
Display
Light tower
Pumps:
(2) Process chamber dry pumps
(2) Dry pumps racks
EBARA Load lock dry pump
EBARA Transfer chamber dry pump
(2) PC TMP Pumps missing
Main controllers:
(4) Hard Drive Disks (HDD)
(2) Control boards, AI/AO boards set
Big system control box
TC Controller box
Chillers:
SMC Dual chiller
SMC Single chiller
(4) Chiller hoses
Cables:
(5) Pump power cables
(4) Pump control cables
(6) Power cables
(3) Chiller control cables
(5) Remote pump cables
Interface cable
Gas box cable
AC Cable
(2) Gas boxes
(2) V-37 Valves
AC Power box: AC Distribution box
Foreline connecting pips.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY M 85 TD是一款蚀刻器/asher，设计用于提供可靠、经济的微电子元件生产。此工具是一种多室工艺设备,能够在一次运行中处理多个组件。它设计用于执行湿法或干法，包括应用高温和/或选择性蚀刻的能力。该系统使用控制面板或前面板接口进行编程，并具有几个安全功能，可用于自动操作。TEL Unity M 85 TD具有多室设计，主室和两个子室。它配备了一个独特的气体布置单元，使操作员能够准确地输送正确数量的气体和每个加工过程的适当类型。机器还配备了高级诊断工具,使操作员能够快速诊断任何故障设备。它还标配了自动过程控制工具（APCS）,该工具可连续监控过程参数读数,以确保保持准确的规范。此蚀刻器/asher具有高达25 W的多范围功率级别,允许进行多种精密操作。它具有快速加热能力，能够缩短处理时间，集成的热控制资产有助于确保一致的操作和可重复的结果。TOKYO ELECTRON UNITY M 85 TD被设计成能配合各种特殊气体，以确保广泛的应用。Unity M 85 TD具有多项保护操作员、型号和工艺的标准安全功能。所有空气中的颗粒都被内置的排气设备清除，并使用抗ESD（静电放电）材料来防止潜在的伤害或损坏。该系统还设有一个集成的空气过滤器，可连续监测空气质量并相应调整过程。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY M 85 TD是任何生产线的可靠高效的加成物。它旨在最大限度地提高吞吐量和降低成本,同时确保最优质的成品。其先进的安全特性保证了事故预防和连续生产过程。此蚀刻器/asher非常适合精密应用,例如半导体器件、显示器和薄膜技术。
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