二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity M #293654956 待售
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ID: 293654956
Etcher, 8"
(3) DRM Chambers
V2 Rack
Transfer system:
Transfer chamber
Cassette chamber
Pre-alignment unit
Transfer robot
Chamber accessories:
Dipole ring magnet
Rotation speed
Pressure control system
He cooling system
Fixed gap cylinder
RF System:
ENI GHW25A RF Generator
Oscillating frequency: 13.56 MHz
Maximum output: 2500 W
ENI MWD-25LD-06 RF Match
Oscillating frequency: 13.56 MHz
Maximum output: 2500 W
Gas delivery option:
SUS316L Piping
SUS Gasket
IGS Fitting
MEGA-MINI Valve
HORIBA SEC-Z512MGXC (IGS) Mass flow controller
End point system (302x):
Controller: 1x
Fibre: 1D80-005308-11
Lens: 1D80-004290-11
Remote:
10" Colour LCD display
Buzzer alarm
Lot end melody
AC Rack:
Machine on/off circuit
Interlock on/off circuit
EMG Off circuit
Hard disk: System HD, data HD
EDWARDS STP-A1303C Turbo pump for process chamber
EDWARDS STP-A1303C Turbo pump controller for process chamber
Power supply: 208 V ± 10%, 60 Hz.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity M是一款高性能蚀刻设备，非常适合广泛的行业使用。该系统采用微波基等离子体蚀刻技术，以精确度和速度蚀刻硅片等基材。它能够一次处理多层，可以蚀刻最大直径200毫米的碎片。该单元可用于批量加工，允许高批量产品快速生产。这种蚀刻器利用在工艺室内部产生的高频无线电信号来产生具有广泛特性的等离子体。这使得在高温和高通量下进行蚀刻成为可能。结果是一个干净、精密的蚀刻。此外，蚀刻器还包括较大体积项目的大底物容量。TEL Unity M具有多室架构，允许多层蚀刻并行完成。这提供了高速、高品质的蚀刻工艺。此外，机器可以处理厚度在4到200微米之间的材料，并且可以在高达1000 °C的温度下蚀刻。该过程还设计为在多个刀具组件之间动态一致。这样即使使用不同材料和厚度的晶片也能确保均匀蚀刻结果。TOKYO ELECTRON UNITY-M的其他功能包括一个易于使用的触摸屏界面和一个专用的边缘排除室。这允许用户在不排除边缘和其他工件的情况下创建蚀刻。此外，资产可以配备自动质量监视器，允许用户实时监控蚀刻质量。这提供了额外的控制和质量保证。此外，TOKYO ELECTRON UNITY M与各种底物和材料以及各种沉积过程兼容。总体而言,TEL UNITY-M是一种功能强大的蚀刻模型,非常适合任何行业。该设备的多室结构允许多层并行蚀刻，而基于微波的等离子体蚀刻和动态一致性确保了最高精度的蚀刻结果。此外,该系统设计易于使用,包括直观的触摸屏界面和自动质量监视器等功能。因此，UNITY-M能够快速和精确的蚀刻和沉积过程。
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