二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity M #293820990 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY M系列蚀刻器/灰烬是从晶片蚀刻和剥离光刻胶图样的高性能系统。TEL Unity M具有广泛的流程,可满足各种需求,并具有出色的流程重复性和统一性。此外，TOKYO ELECTRON UNITY-M比其他系统消耗更少的功率，使用更少的材料。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-M是一种综合性的蚀刻器/asher设备，设计用于支持铜蚀刻和介电剥离等多种工艺。它配备了高精度联锁系统和精密的功能控制单元，记录和管理所有与流程相关的数据。该机可以蚀刻和剥离光刻胶或其他材料，蚀刻速率变化，可以实时设置和调整参数。机器人样品更换器也可以连接到UnityM进行自动控制和快速样品加载。TOKYO ELECTRON UNITY M的先进工艺工具允许改进晶圆均匀性，具有低失真和均匀的图样和铝箔形成。它还减少了使用自动校准功能装备可重复配方所需的时间。TEL UNITY-M还拥有用于危险材料和短路控制的高级安全功能。UNITY-M有一个控制模块，可以一键设置多个蚀刻参数配方。其直观的用户界面还支持使用TEL性能监控工具进行远程控制和数据共享。这提供了详细和准确的过程控制,以确保提高产量和性能。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Unity M比其他系统消耗更少的功率和材料，平均功耗为500W。它在人事成本方面也很有效，能够执行简单和复杂的蚀刻过程。TEL Unity M可以大大提高蚀刻和剥离工艺的效率，降低生产成本。它还提供各种功能,以提高流程性能和缩短周期时间。因此，它是一种用途广泛、功能强大的核酸表面蚀刻器/灰化器，能够以较低的成本取得优异的蚀刻效果。