二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 45D #293615959 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 45D是一种用于半导体制造的蚀刻器/asher。这种单室干法蚀刻器/asher既适用于批量生产线，也适用于研发应用。TEL Unity ME 45D可以蚀刻多种材料，包括硅、氧化物、氮化物、聚硅和金属，蚀刻时损耗或吸收比例较低。ME 45D设计为单室，有两套淋浴头和两套基板支架。这样可以同时蚀刻两种基材。它还具有三级涡轮分子泵的高真空系统，以提高蚀刻精度。蚀刻器/Asher配有许多过程控制单元,使蚀刻器/Asher能够保持蚀刻过程所需的精确条件。ME 45D由垂直安装的控制面板控制,它允许操作员调整蚀刻时间、蚀刻压力和其他参数以精确蚀刻结果。ME 45D还配备了气体溷合和现场诊断系统，以监测过程并确保蚀刻过程的准确性。气体溷合系统能够精确控制蚀刻过程中所用气体的流量和比率。ME 45D还具有安全功能，包括惰性气体泄漏探测器、紧急通风和泄漏检测系统。此外，ME 45D有一个高效的洗涤器单元，用于捕获蚀刻过程中产生的任何微粒和气味。ME 45D是一种干法蚀刻器/灰化器,具有多种蚀刻功能、精确控制、易于维护和用户安全功能。这种组合确保它是半导体制造的理想蚀刻器/灰化器。