二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 85 DRM #293610374 待售
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已售出
ID: 293610374
晶圆大小: 4"-8"
优质的: 2013
Dielectric etcher, 4"-8"
(4) Dry pumps
Mainframe
DRM Process chamber
YASKAWA XU-BDB1300 Transfer robot
STP-A1303W1 Turbo pump
ENI GHW-25A RF Generator
Process gases: C4F8, O2, Ar, He, CHF3
RF Rack
AC Rack
Monitor
Part number / Description
1D10-150053-11 / Bottom electrode
1D10-204338-13 / Upper electrode
1D10-350791-11 / Focus ring
1D10-102848-13 / Plate baffle
1D10-315183-15 / Shield depo
1D05-300354-11 / Ring insulator
1D10-204418-12 / Cover bellow
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2013 vintage.
TEL Unity ME 85是一种蚀刻/灰烬设备，旨在有效处理具有多种基材的晶片。它是市场上最先进、最可靠的蚀刻/灰分系统之一,晶圆尺寸可达10英寸。该系统配备了多腔室和多区金属氧化物半导体（MOS）蚀刻器/灰烬，允许其他类型的系统无法达到的控制水平。该装置还具有先进的扩散和沉积室，能够精确控制蚀刻/灰分工艺，并能够快速、均匀地处理晶片。此外，TOKYO ELECTRON UNITY ME 85还配备了自动晶片装载机，可以快速高效地装卸机器。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 85利用先进的等离子体阻抗控制（PIC）工具，对等离子体进行更精确的控制，从而实现均匀的蚀刻/灰分处理。此外，资产有一个增强的冷却模型，以尽量减少晶圆温度变化，允许精确和可重复的过程。此蚀刻/灰分设备还提供了PC GUI的可配置配方,可根据特定需求快速定制流程,并具有多通道热限制系统,以确保精确的温度控制和一致性。TEL Unity ME 85除了在蚀刻/灰烬过程中的精确控制和精确度外，还具有较高的吞吐量速率，使其能够每分钟处理多达五个晶圆。这使得该设备非常适合大容量蚀刻/灰烬应用,因为它缩短了周期时间以实现最大的吞吐量和生产率。总体而言，TOKYO ELECTRON UNITY ME 85是一款先进的蚀刻/灰分机，结合了精确的控制、均匀的处理和高通量，使其成为任何半导体应用，尤其是那些需要快速、均匀的蚀刻/灰分处理的有吸引力的工具。
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