二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 85 DRM #293648350 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 85 DRM是一款高级蚀刻器/asher，设计用于MEMS/NEMS和高级封装应用。它能够沉积多层不同厚度的薄膜，用于制造多种微电子器件，包括MEMS和NEMS器件。Unity ME 85是一种模块化设备,可以根据特定的客户要求轻松修改,例如额外的压力和温度控制、定制的薄膜沉积速率等等。该系统配备革命性的数字气体旁路单元、多级温度控制、高频电源。这使机器能够提供可靠和可重复的薄膜沉积速率以及一致的薄膜特性和表面光洁度。该工具配备了超低压沉积特性，以及大面积等离子体表面制备窗口，允许底物处理，污染最小。资产还设有气体输送歧管和电子模块，可精确控制气体输送压力和流量。Unity ME 85还具有真正的4轴运动控制体系结构,它便于多层薄膜沉积,对薄膜宽度和均匀性进行精确控制。此外,实时监控模型同时显示过程条件和产品特性,使操作员能够快速响应不断变化的条件。Unity ME 85最具创新性的特性之一是其专有的薄膜蚀刻模式，它允许从10nm到1000nm精确操纵薄膜厚度。该设备获得专利的双等离子源系统提供高度轮廓化的表面光洁度，以及在蚀刻成困难材料时的高长宽比。该装置还配备了膜洗涤机，确保蚀刻产品完全没有任何可能存在的灰尘颗粒。Unity ME 85为高级封装应用程序提供了理想的解决方桉,可在多种基材和材料上提供高吞吐量和过程可重复性。该工具还设计为符合SEMI和ATRM标准,确保与各种薄膜工艺的兼容性。