二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 85 #9286040 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 85是一款先进的蚀刻/asher设备，设计用于蚀刻和灰化工艺。系统是Evolution Unit-type Eller/Wet Etcher （EUE）。EUE是一种双面蚀刻和灰化室，通过独立的蚀刻/灰分控制和两者之间的无缝过渡提供均匀性。蚀刻过程既利用了氧化物去除功能，又利用了抗蚀刻功能，两者都可以进行精确精确的调整，以获得最佳的处理结果。该单元与标准和高长宽比晶片兼容，可支持75mm-125mm的灰光应用。它还预先设置了基于等离子体或紫外线的蚀刻选项,以及一系列蚀刻/灰室与晶片尺寸比的选项。除了蚀刻和灰化功能外,TEL Unity ME 85还提供了一系列其他功能,使其成为许多应用程序的理想选择。它具有方便的负载锁定和射频以及控制温度、直流偏差、自动校正和机器范围的诊断和警报的能力。它也被认证用于12种不同的气体进行蚀刻，以及氧化剂和非氧化剂的各种组合。它可以同时监测多达四种气体，并配有传感器和探测器的可调端口，以帮助保持流程平稳高效运行。该工具还有一个国际服务网络作为后盾，以便能够快速方便地完成其组件的服务和维护。为确保最高级别的安全和性能,TOKYO ELECTRON UNITY ME-85还通过了UL/CSA、CE和VDE标准的认证。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME-85是一种可靠和高效的蚀刻/粉碎器资产，可提供各种工艺所需的高精度。其精密的特性、全面的安全和性能标准以及便捷的服务和维护协议使其成为任何蚀刻和灰化应用的绝佳选择。