二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 8555 DDD #9117097 待售
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ID: 9117097
晶圆大小: 8"
优质的: 2002
System, 8"
Process type: Oxide
Wafer type: Notch
(3) Chambers
Chamber type: DRM
Main body type: SMIF
Interface type: SMIF
Robot fork type: Ceramic coating
Wafer clamp type: ESC
ESC Type: Ceramic
No EPD
ECC Rack: V-2
Monitor: Front
Signal tower: (4) Colors
Automation online: GEM
Area sensor type: Individual (2) area sensors
Includes:
Vacuum / RF Controller module
AC Power distribution: TEL (UM 4PC)
No Y2O3 Process kit
Transfer chamber:
C/C1 Convactron GRANVILLE PHILLIPS 275071-KF16
C/C1 Pressure switch LEYBOLD vakuum PS113 16014
C/C2 Convactron GRANVILLE PHILLIPS 275071-KF16
C/C2 Pressure switch LEYBOLD vakuum PS113 16014
T/C Convactron GRANVILLE PHILLIPS 275071-KF16
Transfer robot YASKAWA XU-RVM3800
Wafer alignment YASKAWA XU-AVP3700
C/C1 Controller YASKAWA XU-BDB14011
C/C2 Controller YASKAWA XU-BDB14012
Transfer interface box YASKAWA XU-BCB1600
Gate valve type VAT ROLLCAM
Process chambers (1,2,3):
Gas# 1 C4F8 10 sccm
Gas# 2 Ar 100 sccm
Gas# 3 O2 10 sccm
Gas# 4 CHF3 100 sccm
Gas# 5 N2 500 sccm
Gas# 6 CF4 100 sccm
Gas# 7 CH2F2 100 sccm
Gas# 8 C4F6 30 sccm
CM1 250 mTorr MKS 627A-13614-S
CM2 10 Torr MKS 627A-14583
PCV Unit center 100 Torr MKS 640A-22936
PCV Unit edge 100 Torr MKS 649A-22016
APC V/V VAT 65044-PH52-0004
APC Con't VAT PB6 (in P/C Control Rack)
Turbo pump SEIKO SEIKI STP-A803C
Turbo con't SEIKO SEIKI STP-A803C
Pressure switch#1 MKS 51A52TGA2BA500
Pressure switch#2 MKS 51A31TGA2BA010
Convactron GRANVILLE PHILLIPS 275071-KF16
Ion gauge LEYBOLD 1TR100-T
RF Generator (Bottom): ENI GHW-25
RF Matcher (Bottom): ENI MWD-25LD
DC P/S: TEL
HV-DC P/S: TEL
Lift pin type: TEL Stepping motor drive
GAP Type: Pancake air cylinder
Process chamber 2:
Gas# 1 C4F8 10 sccm
Gas# 2 Ar 100 sccm
Gas# 3 O2 10 sccm
Gas# 4 CHF3 100 sccm
Gas# 5 N2 500 sccm
Gas# 6 CF4 100 sccm
Gas# 7 CH2F2 100 sccm
Gas# 8 C4F6 30 sccm
Electrical configuration:
ECC:
Slot#0 TEB408-11 HDMC
Slot#1 SVA011
Slot#2 SVA011
Slot#3 TEB107_ECS5
Slot#4 PPC6603ev_M/C TEB205
Slot#5 PPC6603ev_M/C TEB205
Slot#6 Blank
Slot#7 TEB001-12_GHUB
Slot#8 Print board
Slot#9 Blank
Slot#10 Blank
Slot#11 Blank
Slot#12 TVB0008-2_VMIF
ECC P/S ECC DC Power supply module
HDD#1 TEB407 HDD Base
HDD#2 TEB407 HDD Base
Transfer chamber:
Slot#1 Blank
Slot#2 TYB135 / OPE
Slot#4 TYB134 / ILK
Slot#5 TYB112 / DIO#1
Slot#3 TYB112 / DIO#2
Slot#6 TYB112 / DIO#3
Slot#7 TYB111 / MAIO
Slot#8 YE CPU (JASRC-BCP02) Software Ver 2.2
Slot#9 YE CPU (JASRC-BCP02) Software Ver 2.2
Slot#10 Blank
Slot#12 YE P/A ( XU-SVA0100C)
T/C P/S T/C DC Power supply
Process chambers (1,2,3):
Slot#1 APC / PB-6
Slot#2 Blank
Slot#3 TYB112 / DIO
Slot#4 TYB111 / MAIO
Slot#5 Blank
Slot#6 TYB121 / COM#1
Slot#7 TEMP / REX-B860-CS2
Does not include:
Pumps
Chillers
SMIF Loaders: LPT2200
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 8555 DDD，又称蚀刻器或asher，是一种专门的工具，用于电子行业专业人士的各种任务。它旨在将各种材料精确地沉积到基板表面。它的能力使得它成为各种工艺的宝贵工具，包括蚀刻、沉积、光刻和组装。该装置由一个不锈钢腔室、一个用于基板定位和运输的转盘、一个质量流量控制器、一个气体歧管和一个加热系统组成。在技术规格方面，Unity ME 8555拥有一个工作区域，基板支架为400x400mm。此外，它还具有蚀刻厚度不超过0.5mm的基板的能力。通过这种设置，用户可以蚀刻铜、硅、铝和不锈钢等各种材料的基板。该设备由于其强大的图形用户界面而极易使用。它可以很容易地进行编程,以根据材料要求产生所需的结果。该设备与内置的自动配方功能集成,允许用户存储无限数量的蚀刻配方。此外，它还有一个内置摄像头，允许视频监控蚀刻进度，从而帮助用户管理过程。继续,蚀刻器还具有允许用户在蚀刻过程后查看数据的软件。这个集成的蚀刻分析软件包括各种工具，如蚀刻速率、线宽测量、焦点水平和表面粗糙度。所有这些数据可帮助用户创建蚀刻配置文件,并根据所需的结果修改进程。TEL Unity ME 8555 DDD是一款非常可靠和耐用的机器。它专为便于维护和更换部件而设计,无需任何干预。具有多种蚀刻材料类型的容量，该蚀刻器适用于一系列工艺和应用。其广泛的特性和功能使其成为许多应用程序的理想选择,从消费电子产品到汽车开发。
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