二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity SP #9284470 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY SP是一种最先进的全自动蚀刻器/asher,旨在以最短的时间和精力产生高质量的蚀刻结果。通用设备由主蚀刻单元和一个钢预蚀刻室组成。主蚀刻装置具有温度可调的独立热区和开放式框架加工室，便于快速交换晶圆。预蚀刻室设有高流量泵，能够达到高蚀刻速度和大通量。TEL Unity SP既有手动操作模式，也有自动操作模式，提供对蚀刻过程的完全控制。包括触摸屏接口和PC在内的控制系统可确保所有蚀刻参数的高精度。真空由高效涡轮分子泵提供，允许清洁、快速的蚀刻环境。TOKYO ELECTRON UNITY SP中也有排气和保护温度报警器等先进的安全功能。无论您需要干蚀刻还是湿蚀刻,系统都是高效、均匀性和结果可重复性的系统。Unity SP能够蚀刻最复杂的基板，从纳米凹槽到整个基板，不需要任何额外的设备。此外，其先进的气候控制装置能够对敏感材料和基板进行高精度的低温蚀刻。此外，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY SP提供先进的垂直再循环泵，高效、均匀的蚀刻，边缘形成最小。水泵确保蚀刻化学品和低化学品废物的均匀分配，提供高水平的蚀刻结果。外室按顺序向加工室供应蚀刻气体，并在蚀刻过程中将加工室排空。总体而言,TEL Unity SP 蚀刻器/asher是最先进的机器,旨在提供市场上最精确的蚀刻结果。其功能丰富的设计允许轻松、快速和高效的操作,同时提供一致、干净和高性能的蚀刻结果。