二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity Ver.II 65DI #293643508 待售

TEL Unity Ver.II 65DI是一种高度先进的蚀刻器/asher,设计用于半导体制造的晶片的最佳蚀刻和灰化。它能够处理各种晶圆尺寸,使其成为一种通用且有效的蚀刻和灰化任务解决方桉。TOKYO ELECTRON UNITY Ver.II 65DI的最大底物尺寸为6英寸（150毫米）。它支持高达1,150°C的基板温度，并包括一个空气轴承级，使晶片能够均匀、可重复的蚀刻和灰化。有一个实时的光学视频监控设备，可以观察蚀刻和灰化过程，确保质量保证。显示器系统与自动加载单元相结合，使重复、执行和精确监控流程变得更加容易。蚀刻/灰化过程由一对自动定位器和EGA门管理。EGA闸门能够控制蚀刻的通量、压力和深度，从而获得更精确的结果。此外，还可以在设备中添加一个可选的离子源，从而加快底物的蚀刻和灰化速度。Unity Ver.II 65DI 蚀刻器/asher专为高吞吐量和高效率而设计。它支持经济时间蚀刻工艺,通过提高蚀刻速度和灰度速度来减少工艺时间.此外，广泛的气体，包括溴化氢（HBr）和氯（Cl2），可以用来产生高度可控和一致的蚀刻轮廓。该单元可以通过多种选项进行扩展，使其同时适用于研发和生产应用。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY Ver.69DI 蚀刻器/asher是一种高效、快速、精确的晶圆和基板蚀刻和灰化解决方桉。其多功能性和自动控制机使其成为任何蚀刻和灰化工艺的绝佳选择。