二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY Vera85 DPATC #9145468 待售

TEL / TOKYO ELECTRON UNITY Vera85 DPATC
ID: 9145468
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Oxide etcher, 8" (2) Chambers 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY Vera85 DPATC是一种蚀刻器/asher,用于半导体器件的过程控制和阵列。它配备了集成的等离子体源技术,它与所有反应性气体具有极好的兼容性,能够在工艺应用中实现更广泛的功能和更高的准确性。该设备设计小巧且相对轻巧,占地面积很小,适合大多数实验室环境。它的高分辨率液晶屏允许精确的阵列和过程控制。Vera85 DPATC具有基于配方的自动蚀刻和高速、高分辨率光刻功能。这样可以使用更精确的模式实现更快的生产周期,从而使用户可以处理更大面积的车牌。它还有一个内置的成像系统,以提供关于板质量的微观反馈,使其更容易产生精密的模式与较少的缺陷。其集成工艺工具包括等离子体发电机控制模块(PGD)、电源管理以及用于过程监控的分析传感器。此蚀刻器/asher专门为直接阵列传输(DPT)应用程序(如MEMS、光电和HBML应用程序)设计。其先进的基于等离子体的技术适用于任何非挥发性材料,包括单晶圆和Open-Frame蚀刻。其集成的高密度诊断功能还可以实现流程优化。它的自动化系统设计有助于减少中断处理的机会,而其高级数据处理程序则提供详细的处理质量报告。Vera85 DPATC还具有64位处理器,能够执行不同的进程控制任务。可以将其编程为执行稳定、污染预防和优化等过程场景。其LED触摸面板可进行调整,使每个随机接入位具有不同的电源级别以优化性能。这允许用户对蚀刻过程进行精确控制。TEL UNITY Vera85 DPATC是所有DPT应用程序的理想边缘蚀刻器和粉碎器。它的自动化系统和先进的技术使它成为一个高效和精确的机器质量处理。其用户友好的设计和功能使其成为有经验和新手用户的绝佳选择。
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