二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #293665143 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY是一款具有高通量的蚀刻器/Asher,其设计既能满足先进的光刻生产需要,又能满足小批量原型制作应用的需要。蚀刻器/asher具有模块化设计,允许用户从各种组件中进行选择,以根据特定的工艺需求配置蚀刻器。该蚀刻器具有较大的腔室和较高的吞吐量，使用户能够快速处理大型基板。该机具有旋转倾斜敏感器，在各种基板上既具有均匀性又具有均匀的蚀刻深度。蚀刻器/asher还包括闭环传感器，以提供精确的过程监控和可重复的结果。TEL Unity兼容多种气体和蚀刻配方，使得从一台机器蚀刻不同材料成为可能。蚀刻器/粉碎器设计干净，可减少化学污染；它的不锈钢腔室和抽水排气系统使它易于使用和清洁。TOKYO ELECTRON UNITY还具有高度自动化的功能，包括自动气流控制和自动配方选择。该蚀刻器/asher设计为既方便用户又可靠,具有直观的控制,并在出现问题时自动关闭安全。Unity易于扩展，附加了高速铜涂层、升华、等离子体活化等特殊工艺工具等配件。凭借其先进的功能，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY为用户提供了无与伦比的灵活性和易用性。