二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9142639 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY是一款用于半导体制造的最先进的蚀刻器/asher。它旨在为当今先进的半导体技术提供卓越的高精度蚀刻和灰化性能。该平台基于模块化设计，使其能够配置广泛的选项，使其适合大多数半导体工艺。该设备采用了干蚀刻、湿蚀刻、灰化、缓冲和钼蚀刻等全系列工艺，并结合了先进的薄膜蚀刻技术以实现更精细的工艺。它还设计为在所有蚀刻工艺中提供高精度、紧密公差和卓越精度。系统的设计有助于确保高效可靠的运行。蚀刻器/asher包括一个高密度的ECR源，有助于最大限度地减少暴露于危险电场，并且还配备了一个全面的等离子体源单元，以实现最大的蚀刻性能，包括等离子体优化管理。该机还提供多种工艺选择，如调节功率和气体控制值、真空溷合物以及基板与气体的比值管理。这确保了高精度的蚀刻和灰化操作,无论过程有多复杂。此外，该工具便于维护和升级。用户可以轻松地在其设置中添加新的进程和组件,例如更改ECR源的类型,或者使用最新的软件和处理器升级资产。它还提供远程访问功能,允许用户从多个位置访问模型的技术数据、流程、信息数据库和服务手册。TEL Unity是制造最优秀半导体元件的强大工具,提供卓越的性能、可靠性、可扩展性和经济性。其先进的特性,加上全面的工艺控制,使其成为当今复杂半导体工艺的理想解决方桉。