二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9146219 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY是半导体工艺中使用的关键蚀刻设备。它配备了单一晶片干等离子体灰光机，可以进行先进的材料蚀刻沉积工程。该系统采用革命性的新升级设计,强调更好的性能、可靠性和生产率。蚀刻单元将多个过程集成到一个模块化机器中，实现了高效、自动的化学交换过程。TEL Unity以真空室为基础，其内部由干净、惰性的材料构成。在腔室中通过后部连接的涡轮分子泵建立一个疏散气氛。在内部,可移动电极支架将样品固定在适当的位置。PMAC（电源监控和控制）允许在整个蚀刻过程中进行精确的电压、电流和频率调制控制。该流程通过触摸屏用户界面进行控制,该界面具有一个板载流程库,其中包含超过15种流程配方。该工具符合SEMI标准,接口与客户的自动化系统兼容。ECO操作模式有助于确保最佳处理时间和成本。TOKYO ELECTRON UNITY具有多种特性，使资产可靠高效。自动调节技术通过控制基于用户定义参数的调节来消除手动规划。此外，石英多晶硅晶片蚀刻模式实现了高度的各向异性和极其紧密的轮廓控制。蚀刻结果的均匀性是行业领先的一个方面。即使在复杂的几何中,轮廓控制和特征并行也保持严格且符合要求。Unity易于维护,具有可快速交换的耗材和远程故障排除功能。蚀刻模型是为可重复性和可维护性而设计的，因此用户能够在几个晶片上重现完全相同的蚀刻条件。此外,还会通过PMAC控制器的监控设备向用户发出任何问题的警报。得益于流程反馈系统，用户可以实时跟踪蚀刻配方。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY是一款功能强大、用途广泛的蚀刻装置，非常适合工商业应用。它为高级蚀刻和沉积项目提供了最高水平的性能、可靠性和成本效益。它的设计采用了最新的技术，因此用户可以确定他们的蚀刻过程是可重复的，并且结果是统一和优化的。