二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9176469 待售
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ID: 9176469
Ti/TiN CVD Cluster system.
Water pump
Process module 4 trap
Water flow box
Main body
Gas box
Cooling & process module 6 pump rack
UPS Process module 3 trap rack
Module rack
Chiller HIA
Process module 4 trap rack
Transfer & process module 3
(4) Pump racks
Gas Injectors
Signal cables
Tables
Sub-assemblies
Main power distribution
Utility water air rack
Unity controller
Chiller
(4) Pumps
UPS
Valves
Transformers.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY是一款完全集成的湿蚀刻和灰化设备。这种业界领先的蚀刻器和asher为用户提供了高度可靠的处理,具有持久的稳定性和较低的维护要求。TEL Unity系统利用高端湿蚀刻技术处理各种基材和材料表面。湿蚀刻工艺利用电离蚀刻介质,如纯水、水性化学溶液或蒸气蚀刻剂,有效蚀刻和去除不需要的材料,以便进行表面清洁、制图和/或层转移。灰化过程利用干蚀刻过程剥离材料层以创建图样和特征。TOKYO ELECTRON UNITY单元利用了一系列强大的加工室大小,从小型基准系统到大型生产系统,为用户提供了各种不同工艺的功能。该机还设计为与各种工艺气体和化学输送系统兼容,允许同时使用湿蚀刻和干蚀刻。Unity工具配备了先进的安全功能,如空气产生的超滤器、化学过滤器、化学排气洗涤器资产等。此外,该模型符合危险作业的SEMI保障标准。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY设备具有集成的图形用户界面(GUI),便于设置和控制,包括过程流和参数输入、程序管理以及数据显示。该系统还集成了流程配方管理和数据归档,以提高可追踪性。其内置显示使用户能够实时监控每个流程的进度,并相应调整参数。TEL Unity部门还能够与各种外部系统(如流程监测和控制系统)连接,以提高自动化和效率。TOKYO ELECTRON Unity machine是一款理想的解决方桉,适合希望实现高性能、可靠、低维护处理的用户,用于各种湿蚀和干蚀操作。凭借先进的安全特性、坚固的腔室构造、人性化的GUI,Unity工具成为半导体、数据存储、先进材料处理的热门选择。
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