二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9298719 待售

TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Tornado 300是一款先进的蚀刻器/asher，设计用于半导体晶片生产中的精确、高性能应用。TEL Tornado 300设备是一种高吞吐量蚀刻系统,它将高速与高吞吐量结合在一起,并具有最大质量等级。NEXX Tornado 300采用了能够在受控环境中提供高功率密度以形成最先进特征的工艺室。该工艺室采用全陶瓷材料建造，先进的多气体输送装置采用了最新的高速、整合式充气和高精度惰性气体引入组件。TOKYO ELECTRON TORNADO 300的先进半导体过程控制机允许在广泛的蚀刻过程中快速的性能。蚀刻室效率高，循环时间令人印象深刻，为15秒。这个循环时间有助于减少晶圆对晶圆的变化，并通过快速循环时间提供高超的准时生产。此蚀刻工具还具有创新的射频电源以及过程控制器。射频电源可确保稳定的工艺流程,并提供卓越的均匀性和可控制的功率级别。射频控制器提供精确的过程控制参数,可实现高精度循环时间控制。该资产还具有先进的可编程过程控制器，可提供精确和灵活的编程功能，如可调节温度、压力和过程参数。该模型还可以很容易地编程为高精度的过程控制参数。其同步多振荡器模式有助于在整个晶片表面保持均匀性。龙卷风300以最小的维护提供卓越的性能，其先进的气体输送设备在蚀刻作业中优化气流以达到最大效率和均匀性。先进的气体供应支持广泛的气体，可以很容易地适应各种过程。系统使用干式和湿式蚀刻方法来满足客户的需求。TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Tornado 300是一种可靠且功能强大的蚀刻/asher解决方桉,有助于提高晶圆产量、加工时间和工艺性能。这一单元是高度可配置的一系列蚀刻和灰化的要求，使其成为一个理想的选择半导体行业。