二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9316179 待售
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ID: 9316179
Metal CVD system, 8"
Process: TiN
Main body
Power supply
Power rack
Trap
Cable
Panel
Accessories
Transformer.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY是一款利用高度精确的蚀刻技术并具有全自动和高效操作的蚀刻器/asher。它能够产生具有广泛蚀刻能力的高精度和高通量蚀刻结果。TEL Unity是一款用途广泛的机器，可用于广泛的蚀刻过程，从深反应性离子蚀刻（DRIE）到等离子体增强蚀刻（PEE）。其先进的蚀刻技术促进了广泛材料的蚀刻，包括金属、聚合物、陶瓷和玻璃。TOKYO ELECTRON UNITY具有全自动和高效的操作,用户干预最少,从而实现卓越的吞吐量和均匀性。自动锁定机制使蚀刻过程具有高度的可重复性和可靠性，实现了无缝集成。此外,Unity还配备了多种电源设置,使用户能够针对每个蚀刻过程相应调整输出功率。其直观的用户界面允许轻松操作和维护。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY的模块化设计提供了高度的灵活性和适应性。其占地面积小，适合狭小空间使用，模块化性质，便于运输和重新配置。其直观的用户界面简化了对蚀刻过程的监控，为用户提供了提高蚀刻过程效率的宝贵实时信息。TEL Unity的设计目的是协助可靠地生产适合50 nm以下功能尺寸的定制口罩、基板和材料。其先进的蚀刻能力提供了极高的蚀刻精度，使其适合用于各种纳米技术过程，包括微电子。TOKYO ELECTRON UNITY是一款多功能机器，旨在提供可靠、高效、精确的蚀刻工艺。适用于广泛的应用，从微电子到深层反应性离子蚀刻，其先进的蚀刻能力可以根据用户的需求进行调整。从高效的操作和模块化设计到直观的用户界面和高水平的灵活性，Unity是各种蚀刻工艺的理想选择。
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