二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9316187 待售
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ID: 9316187
Metal CVD system, 8"
Process: TiN
Main body
Power supply
Power rack
EDWARDS TDV4 System
(2) Traps
Cable
Panel
Accessories.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY是一款为生产全密封晶片而设计的蚀刻/开发机器。该工具用于制版、蚀刻和沉积化学机械抛光材料。它能够为晶片提供一个适用于制造先进半导体器件的平坦表面。该机器能够产生高分辨率模式，从而能够开发新的设备。它支持湿蚀刻和干蚀刻，其蚀刻机构能够精确控制加工过的晶片中材料层的形状和厚度。此外,它的大腔室可实现高通推式。TEL Unity蚀刻器由主蚀刻室和预蚀刻室组成，允许在同一循环中进行多次操作。在主室内部，离子被注入到基质上进行蚀刻。主室还装有可移动的机器人臂，用于将基板从一个腔室转移到另一个腔室，包括预蚀刻腔室。然后将基板装入主腔室，在那里进行蚀刻过程。蚀刻过程从将气体溷合物如CF4引入蚀刻室开始。气体溷合物然后被电离成离子，然后被引导到底物上。离子与底物反应蚀刻成形。可以控制该过程，使蚀刻深度和侧壁角度精确。蚀刻完成后，蚀刻溶液冲出主室。然后将晶片转移到一个后蚀刻室，该室用于下游过程，如化学机械抛光和抗蚀条。TOKYO ELECTRON UNITY蚀刻器是半导体器件开发的理想工具，因为它提供了精密蚀刻能力和高通进位。它能够产生精确、精确的图样和图层类型,使其成为开发尖端设备的理想选择。
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