二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vesta #9315096 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Vesta是为半导体工业设计的高性能蚀刻机（或asher）。它采用等离子体蚀刻和粘合技术相结合，在硅片和其他基板的表面上创造出精确和可重复的特征。该机由底座、等离子体蚀刻室和粘合站组成，另外还有用于热控制、冷却和额外安全的部件。等离子体蚀刻室容纳反应性材料，通常是特氟龙阳极和加热阴极。等离子体在腔内产生，允许控制底物的蚀刻。腔室连接到气体控制系统，该系统允许在腔室运行时根据需要引入反应性气体。粘合站允许通过电线粘合连接单独的元件，从而提供更高的成品结构完整性。整个系统都设有温度传感器，可以精确控制腔室和工件的温度。TEL Vesta设计为在真空环境中运行，提供最一致和准确的蚀刻。这样可以更好地控制蚀刻速率和配置文件,以及更高程度的边缘定义和可重复性。借助先进的运动控制，机器可以精确蚀刻宽度高达600万英寸的特征。该机还配备了安全功能，如一套气体传感器和减压阀，可保护操作员，防止由于腔室过压造成损坏。机器完全封闭在一个大的金属框架中，允许在操作过程中最大限度的保护。TOKYO ELECTRON Vesta是一个最先进的蚀刻和键合系统，提供可靠的操作和一致的结果。它具有先进的控制和安全特性，非常适合在半导体工业的硅片和其他基板上生产高质量的特性。