二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus harc #9244886 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus harc是一种蚀刻器/asher，用于对有价值的底物如半导体和其他薄膜材料进行极其精确的蚀刻和清洗。TEL Vigus harc是一个基于湿式的系统,具有串联设计,可确保更高的吞吐量速度、更宽的处理窗口和更好的一致性。该机采用双真空蚀刻室设计，在蚀刻/清洗操作中允许最大程度的工艺灵活性，并对每个工艺室进行完全隔离。这确保了一个操作产生的蒸气不会被带到另一个操作，确保在另一个操作室中处理过程中产生的化学物质或蒸气不会影响到细腻的底物。TOKYO ELECTRON Vigus harc也有独特的方向性-轴流式设计，通过注重均匀性保证了更高的收益率，允许过程精确执行。这是通过过程液体的定向流动和沿腔室中心轴的蚀刻气体来实现的。然后将基板放置在腔室的中心，以实现最大程度的均匀性，并应用蚀刻或清洗工艺。该机具备多种操作安全先进的特点，如反应堆气体分配单元、温度控制、电子致动阀、外置洗涤器惰性气体控制、高性能真空系统等。机器上的电气联锁门有助于确保安全的操作环境。简而言之，Vigus harc是一种精密的蚀刻器/asher，用于精密蚀刻和清洁细腻的基板如半导体。其新颖的双真空蚀刻室、定向轴流设计和先进的特点使其成为高速、均匀、安全的蚀刻和清洗操作的宝贵工具。