二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus harc #9351473 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus harc是一种最先进的蚀刻和灰化工具，用于半导体、电子和其他需要微制造技术的行业的广泛应用。它是一种全自动工具,可提供高精度的蚀刻和灰化功能,并具有可变的功率和热性能。该设备还提供可选的沉积和沉积蚀刻工艺。TEL Vigus harc etcher/asher由32位RISC处理器和专有GUI软件控制。GUI软件允许操作员轻松设置和监视流程参数。该系统的用户友好型设计还使操作员能够访问高级制造技术,如多孔等,因为该单元易于定制。TOKYO ELECTRON VIGUS harc机具有一系列的搅拌方桉，旨在避免材料过度蚀刻和不足蚀刻。可以在潮湿和等离子体环境中进行蚀刻和灰化。该工具还具有热资产，它允许精确的温度均匀性在蚀刻和灰化过程。Vigus harc型号配备了先进的安全措施，如回填和热处理、紧急报警、三重电源开关等。该设备还包含内置的安全机制，以保护操作员免受电击和气体毒性水平的影响。TEL/TOKYO ELECTRON Vigus harc系统高度灵活多用途，允许定制特定蚀刻和灰化工艺。该单元还包含开放式体系结构软件，可自定义该软件以满足每个用户的特定需求，并针对流程优化进行调整。TEL Vigus harc机器使用的蚀刻剂与用于背蚀应用的类似，可用于多种不同的基板上，包括玻璃、陶瓷和聚合物。该工具还支持一系列标准和高级流程,包括需要特殊清除系统的流程。此外，TOKYO ELECTRON Vigus harc资产与多种工艺气体相容，如氦气、氙气、氮气和氢气，使其成为许多行业的理想蚀刻和灰化溶液。