二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus L/S #293666857 待售

TEL Vigus L/S是一款蚀刻器/asher,以其在微加工应用中的性能和可靠性而闻名。此设备使用湿法和干法的组合,对表面进行阵列、蚀刻、曝光和/或修改,使其达到各种复杂程度。TOKYO ELECTRON VIGUS L/S实现的强蚀刻速率使得它成为从精密器件到纳米材料等各种结构的常规生产的理想选择。TEL/TOKYO ELECTRON Vigus L/S适用于从硅、二氧化硅和玻璃基板到有机聚合物箔的广泛基板，也可用于金属、陶瓷等其他材料。该装置使用特殊的处理室来引导蚀刻气体，而加热的淋浴头则确保所有参数的均匀性。它还拥有先进的用户控制和反馈系统，以获得准确和可重复的结果。设备的蚀刻速率可高达10nm/min。可以精确控制蚀刻。TEL Vigus L/S还提供了广泛的工艺参数,如气体流量、压力、温度、曝光时间,并具有在保留横向表面台阶的同时蚀刻浅层特征的灵活性。该装置具有用户友好的设计和先进的安全特性，相当可靠。低压主电源和排气功能提供了额外的保护。此外，该装置还有一个综合质量监测系统，有助于确保产品质量和安全。TOKYO ELECTRON Vigus L/S具有极大的弹性，可以调整以满足任何特定应用的要求。该设备具有高分辨率,可以进行优化以提供可重复和可靠的结果。它非常适合需要对表面材料进行图桉化、蚀刻或曝光的各种项目。该装置可以作为光刻系统的辅助，也可以作为独立蚀刻器执行。总之，TEL/TOKYO ELECTRON Vigus L/S是一种可靠、功能强大的蚀刻器/asher，满足所有微加工应用的要求。其快速蚀刻速率、先进的工艺参数、用户安全特性以及集成的质量监控系统，使其成为各种工艺的理想选择。