二手 TEL / TOKYO ELECTRON VIGUS MASK #9241307 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VIGUS MASK是来自TEL的最先进的蚀刻设备。是用于制造集成电路、半导体器件等微电子元件的非标准光刻系统。该单元用于薄膜的化学蚀刻、表面预处理和半导体基板的各种化学处理。它主要用于半导体材料的图样蚀刻和蚀刻相关处理，包括金属和多晶硅层。它旨在节省时间，最大限度地减少化学废物，优化生产吞吐量。TEL VIGUS MASK配备了高性能阴极射线管（CRT），是该机的主要部件。这CRT投影光刻面膜在晶片上的微细细节。该光掩模由不透明的材料如铬制成，并以所需设备结构的图像图桉。面罩由一个特殊的夹具固定到位，CRT通过面罩和晶片投射出明亮的光。投射光的强度根据遮罩的光学特性而变化，从而可以精确控制被蚀刻到晶片中的图样。TOKYO ELECTRON VIGUS MASK配有紫外线光源，用于固化光刻胶及其他化学处理。它也可用于晶圆的清洁和离子化以及蚀刻前的预处理。此外,VIGUS MASK还配置了蚀刻软件,允许操作员调整蚀刻工艺参数,如停留时间、晶圆温度和蚀刻浓度。此外，TEL/TOKYO ELECTRON VIGUS MASK的设计采用背面溅射铝制腔室，可提供额外的保护，防止外部污染。它还配备了由反应性离子蚀刻器产生的隔离氧化膜层，有助于保护薄膜层在蚀刻过程中免受氧化。该工具设计得极其可靠和有效，提供先进的蚀刻能力，同时最大限度地减少有毒排放和废物。总之,TEL VIGUS MASK是一种高精度蚀刻资产,具有广泛的特性和功能。该模型非常适合用于半导体制造，允许各种薄膜和微电子元件的精确高效蚀刻。这种设备的设计也具有成本效益，提供了一些有助于减少浪费和最大限度地提高吞吐量的功能。