二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus Nest #293585745 待售
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ID: 293585745
Etchers
TAC-3WWZZWW Power rack
(2) Loader modules
PM5
PM2
PM6
PM1, PM2, PM5:
TEL / TOKYO ELECTRON DC Power unit assy
SHIMAZU TMP-W3503LMC(T2) TMP
VAT 65048-JHGH-AX01 APC
MKS 722A21TGA2FA TMP PT Sensor
MKS 51A11TGA2BA010 VAC Pressure switch
MKS 41A130GA2AA040 ATM Pressure switch
(2) SMC XIAQ-25-X884 V36, 37 VAC Valves
SMC XLAQ-16HO-XO Gauge VAC valve
SMC CQEB-S63-44 5S-DCI825GI Shutter air cylinder
TEL / TOKYO ELECTRON V1Y-50-1024 EPD Sensor
TEL / TOKYO ELECTRON SE2000T EPD Controller
TEL / TOKYO ELECTRON SE2000-1M EPD Fiber
INFICON BPG-400 BA Gauge
MKS DMARETGAEKNV633 CM1
MKS DMA11TGAEKNN633 CM2
HORIBA GP-Z104-C HE PCV Center
HORIBA GP-Z104-F-2 HE PCV Edge
CKD TPR4-05-A100T-X0005 Gas flow splinter
MKS MW2-500340 Dual matcher
MKS GEW-3540 HF Generator
KYOSAN HV-PS8 HV Power supply
RKC RCB-88-2 Temperature cont box
JRC NFH-247 Heater filter
KYOSAN TW6 RF Filter
HORIBA IT-4700 Top thermometer
TEL / TOKYO ELECTRON Valve box assy
TEL / TOKYO ELECTRON TAB22E-1/LOW-LF LOW/PURF Board assy
(2) TEL / TOKYO ELECTRON TYB113-1/I01-LF LOW/PURF Board assemblies
TEL / TOKYO ELECTRON TYB22D-1/UP-LF UP Board assy
TEL / TOKYO ELECTRON TYB113-1/I01-LF UP Board assy
TEL / TOKYO ELECTRON TAB229-*/GAS2 UP Board assy
(2) TEL / TOKYO ELECTRON TYB113-1/I01-LF Gas board assemblies
(2) TEL / TOKYO ELECTRON TYB313-1/DND Gas board assemblies
RF Rack 1,2 (PM1, PM2, PM5, PM6):
SHIMADZU EI-D3503M-TV2 TMP Controller
MKS B-5303 LF Generator
TEL / TOKYO ELECTRON PR-IF PM V2E PR IF Box
KYOSAN HPK06ZI-TE4 DC Power supply
SHIMADZU EI-D3503M-7V2 TMP Controller
MKS B-5303 LF Generator
TEL / TOKYO ELECTRON PR-IF PM V2E PR IF Box
KYOSAN HPK06ZI-TE4 DC Power supply
TEL / TOKYO ELECTRON Water leak box
TEL / TOKYO ELECTRON PCW Line (Supply.return)
RF Rack 1,2 (PM1, PM2, PM5, PM6): TEL / TOKYO ELECTRON E2B030-12/KVD FPDIF
Missing parts
PM1: Top valve box cover
PM2:
Front cover side fan
TAB229/Gas2 Board cover
Top valve box cover
PM5:
TAB229/Gas2 Board cover
Chamber right: Duct cover
Top valve box cover
AC Dist 1, 2:
KYOSAN J-P33C33G33G33-HH-HPA AC Rack
(2) FUJI ELETRONICS SA203CUL Main breakers 1, 2
FUJI ELETRONICS EA103CUL CVCF Breaker
DENKEN SEIKI NCT-F5 Transformer
TEL / TOKYO ELECTRON TAB343-1/AC Board.
TEL/TOKYO ELECTRON Vigus Nest是一种干蚀刻工具，设计用于晶圆加工，用于半导体和光伏行业。它是一种高性能的工具，设计用于干燥过程，如蚀刻和沉积。TEL Vigus Nest有能力蚀刻硅、的、多晶硅等多种材料。该工具设有两个主腔室，包括主蚀刻腔室和载重锁腔室。主室包含上、下电阻加热板单元，而负载锁室则有单电阻加热板单元。加热板单元可用于在一个批处理过程中蚀刻晶片的两侧，提高吞吐量。该系统还能够控制温度和基板稳定性，以达到可重复的效果。TOKYO ELECTRON Vigus Nest还利用多级、多区域的RF等离子体激光器配备了独立的控制处理器，允许对等离子体功率密度和蚀刻条件进行精确和控制。该工具共有八个射频等离子体，最大功率输出为25kW。它还有三个气体喷射器，可以在脉冲、恒流和闭环质量流控制模式下操作。这样可以灵活地进行蚀刻工艺设计,以获得最佳效果。该工具还附带了用于配方开发、性能监控和操作系统诊断的软件,使用户能够最大化Vigus Nest的功能。该软件为复杂的蚀刻过程提供了简单的编程,并提供了全面的数据维护,便于参考。用户还可以跟踪蚀刻数据和其他工艺参数，提供有价值的见解和反馈，以优化蚀刻工艺。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Vigus Nest是一款多功能蚀刻工具，适用于半导体和光伏行业的广泛应用。它具有出色的控制和可重复性,能够实现高吞吐量的精确蚀刻过程。综合软件提供了优化和数据维护的综合平台，帮助用户取得最佳效果。
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