二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus QN #293666858 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus QN是一款为先进半导体器件加工而设计的蚀刻设备。它基于TEL VIGUS直写光刻方法，并配备了包括单晶片干蚀刻、图样、涂层操作等多种工艺。该系统设计用于在各种各样的基板上进行大范围的精密蚀刻操作，如硅、不锈钢、复杂材料等。先进的直接写入光刻工艺利用电子束图样在基板上创建非常高精度、可重复和高度可配置的图样。这提供了卓越的准确性和可重复性，即使在非常高的纵横比。TEL Vigus QN采用大型4轨模式发电机设计，可实现高速吞吐量。这允许同时蚀刻不同的基板，从而提高生产率。它还采用聚焦离子束（FIB）源设计，以提供更高的蚀刻精度，可用于沉积、蚀刻、牺牲层等多种场所后处理模块。TOKYO ELECTRON Vigus QN还包含一系列功能，以提供改进的蚀刻工艺控制。其中包括精确的压力控制单元、坚固的真空机、温度反馈控制工具以及闭路监控资产,以帮助确保在不同基板上实现一致的蚀刻结果。该模型还包括一系列硬件和软件解决方桉，以促进数据分析、审查和决策过程。综上所述，Vigus QN是一款先进的蚀刻设备，旨在为各种基材提供精密蚀刻能力。它利用直接写入光刻技术,实现精确、可重复和高度可配置的模式。它配备了实现高精度蚀刻的先进功能，以及多种其他工具和功能，以确保高效可靠的操作。