二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus RK2 #9276793 待售

ID: 9276793
晶圆大小: 12"
优质的: 2013
Oxide etcher, 12" 2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Vigus RK2是由先进半导体齿轮蚀刻器和灰烬器的领先供应商TEL开发和发布的蚀刻器/灰烬。TEL Vigus RK2凭借其高度先进的扫描电子显微镜(SEM)技术,能够对各种材料和基板进行精确蚀刻、开发或粉刷。TOKYO ELECTRON Vigus RK2的核心是其专有领域开发软件。通过从一系列域操作配置文件中进行选择,用户可以根据自己的特定要求自定义蚀刻过程。每个配置文件都允许用户从压力、温度、化学数据和其他参数范围中进行选择,以确保获得最佳结果。Vigus RK2具有一系列其他功能,使其成为功能强大且高效的工具。腔室温度和压力都是实时主动管理和监控的,以确保过程的一致性。根据用户的要求,还可以添加其他功能,例如地面挖沟和优化的基板冷却。该设备还具有先进的晶圆监控功能。晶圆裙是加工较大晶圆尺寸所必需的,它是自动、单色和动态调节的,以防止污染.TEL/TOKYO ELECTRON Vigus RK2具有全面的现代界面。它配备了直观的图形用户界面(GUI),让用户以友好清晰的方式获得信息。可以使用多种语言设置来最大化控制。作为进一步的质量保证措施,TOKYO ELECTRON提供远程管理服务,以保持设备性能的最高标准。有了一系列服务,包括基于Web的支持、工程服务和流程优化,客户可以确信他们的设备将在最高效率时表现完美。TEL Vigus RK2提供客户期望的TEL/TOKYO ELECTRON的质量和性能。先进的SEM技术结合了地面挖沟、用户定义的域操作、动态晶圆管理以及温度和压力控制等功能,提供了无与伦比的性能和控制。TOKYO ELECTRON Vigus RK2具有质量保证措施和全面的用户界面等附加功能,是需要蚀刻、开发或粉刷各种材料和基材的客户的首选解决方桉。
还没有评论