二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #293592518 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus是一种蚀刻器/asher，用于硅片基板的图样化。它能够对蚀刻深度和角度进行非常精确的控制。TEL Vigus通过其创新的设计，为半导体器件的开发实现了精细结构和深沟的蚀刻。TOKYO ELECTRON Vigus是一种利用深度蚀刻和平面蚀刻的垂直电化学（EC）蚀刻设备，配备独特的多级干蚀刻（DE）能力。它旨在帮助半导体制造商创建高分辨率结构和各种蚀刻几何形状。它能够将弯曲和非标准形状图桉化为硅基板。Vigus被设计为易于安装和操作的操作员友好系统。它使用带有内置控制器的喷墨诱导过程,使用户能够调整诸如曝光、停留时间、冲洗和清除等参数。用户可以调整极对极、曝光、背景等各种属性。此外,该单元还具有实时配方可视化程序,可在蚀刻过程中为用户提供反馈。TEL/TOKYO ELECTRON Vigus以高性能AC供电的垂直多级电化学蚀刻机操作，以提供高度自动化和精确的蚀刻工艺。凭借先进的控制功能，TEL Vigus可以加工氧化物、氧化硅、玻璃等多种材料。该工具具有快速、精密的蚀刻工艺，可方便地处理低、高长宽比结构，精度高。TOKYO ELECTRON VIGUS是一种可靠、高效的蚀刻资产，非常适合半导体晶圆制造商寻求精确、经济高效的解决方桉来满足其加工需求。该模型采用多合一、易于操作的设计,能够使用户以高精度和可重复性生成复杂的模式。此外,该设备是当今市场上为数不多的具有直接到芯片、多阶段、可靠和高效工艺的蚀刻系统之一。