二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #293630270 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Vigus是为高性能和精确度而设计的先进蚀刻/asher设备。该系统采用了先进的干燥蚀刻、先进的沉积和高精度计量等先进技术。可用于设备开发、耐用性评估、设备制造等应用。先进的干蚀刻技术使蚀刻具有高的选择性和高精度。这一单元带有多种蚀刻气体,允许用户定制其蚀刻工艺以满足他们的需求。先进的沉积提供了电介质和导电材料的高速、高质量、稳定的沉积。通过快速的蚀刻和沉积提高了吞吐量,高精度计量保证了质量控制。TEL Vigus 蚀刻器/asher是一种具有直观用户界面的自动化机器,易于学习和操作。它还支持广泛的控制系统,允许对过程参数如压力、温度和其他过程变量进行优化。该工具还配备了高级流程监控资产,可实时记录流程参数和其他操作信息。该模型带有各种环境管理系统,以确保安全运行。这些系统包括直流电源、脉冲发生器、气体输送设备和安全联锁装置,可防止任何未经授权的访问或更改。TOKYO ELECTRON Vigus 蚀刻器/asher系统适合生产几何形状复杂、长宽比高的器件。它还具有处理大小范围晶圆的灵活性。该单元运行在高性能的计算机网络上,可以连接到各种生产系统进行过程控制和数据收集。Vigus蚀刻机是一种可靠、有效的高质量器件蚀刻沉积器件。它为半导体工业和电子制造的各种应用提供了高效、精确的设备制造。此工具可帮助制造商降低生产成本并提高产品质量。
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