二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #293826900 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus是一种用于精密等离子体蚀刻和抵抗灰化的蚀刻器/灰化器。本机设计精确度优越，非常适合高精度蚀刻需要。由于其聚焦光束,它能够以非常精细的分辨率进行蚀刻。TEL Vigus有一个基于激光的蚀刻设备，可以根据各种蚀刻速率进行校准。它能够用一系列气体进行蚀刻，例如氧气、氙气和氮气，并且可以根据用户的需要创造多种模式。它还能够更改蚀刻轮廓以优化模式性能。该机配备了先进的控制系统，能够分析来自多个波束源的信号，优化集成蚀刻工艺。此单元可降低模式精度错误的级别,并提高蚀刻结果的可重复性。该机还具有介电栅极功能，可防止图样蚀刻发生在敏感特征附近。TOKYO ELECTRON Vigus的特点是具有抗蚀性的灰化机，能产生高分辨率的抗蚀性去除效果，适合高精度蚀刻要求。该蚀刻器可提供均匀的抗蚀剂去除厚度和速度。它还提供了一个不需要高压插头的低污染物灰化工具，它提供了可靠和高效的蚀刻结果与最小数量的颗粒。Vigus是一款小巧轻巧的蚀刻器，用户友好，操作方便。它还具有持久而不引人注目的设计，因为它不会产生烟雾或气味，因此可以很容易地保存在实验室中。此外,它还具有提供无与伦比的蚀刻速度的高功率光束。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Vigus是一款先进品质的蚀刻器/asher，提供了精密蚀刻所需的可靠高效的蚀刻质量，并抵抗了灰烬的需求。它提供了多种功能,非常适合要求苛刻的蚀刻应用程序,其强大的控制资产保证了高精度。本机适合于各种蚀刻和灰化工艺学科，提供优异的蚀刻效果，不会产生烟雾或气味。