二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #293829838 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus，由日本领先的蚀刻和灰化机制造商生产，是为半导体器件制造工艺设计的高性能蚀刻/灰化器设备。该系统由两个模块组成：真空歧管和加热器/导引装置。真空歧管包括一个真空室，其中包含一组工艺气体喷嘴，以及一个真空单元，提供对腔内压力和背景气体的精确控制。加热器/制导单元由高性能加热器和晶片级组成，用于在蚀刻和灰化过程中精确引导和控制晶片。这两个模块可产生可靠且可重复的蚀刻/灰化环境,从而确保高产率。TEL Vigus提供了较高的蚀刻速率和均匀的清洗结果，使先进的半导体加工成为可能。其设计能够沉积高质量的氧化物和氮化物薄膜，在小螺距电路中进入紧密的缝隙，并提供高质量的灰化。这台灵活的机器可以容纳各种尺寸的基材，从200毫米晶圆到超小型芯片。TOKYO ELECTRON Vigus还提供晶圆表面温度和蚀刻/灰化率的实时监控。它还包括一个用于监控过程参数的控制和分析工具，以及用于自动化操作的增强过程控制。这确保了准确的过程结果。Vigus提供阳极和阴极腔室设计，能够支持先进的离子束蚀刻和高密度等离子体灰化。它在不同的基材尺寸上提供了极好的均匀性，允许严格的过程控制。它还支持一系列多样的制造工艺，包括干膜抗剥离、过度蚀刻和金属线条蚀刻。此外,它的安全功能确保了操作的一致性和可靠性,有助于保护过程控制。TEL/TOKYO ELECTRON Vigus被广泛的行业使用，包括半导体、纳米技术和生物技术。这种蚀刻器-asher资产产生出色的蚀刻和灰化效果，为用户提供更高的收益率和过程效率。它的可靠性和安全性使其成为各种应用的理想选择。