二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #9235079 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus是一款蚀刻器或asher，通过将先进的蚀刻/ashing概念与来自TEL的多种技术创新相结合，提供最佳性能、精确控制和通用应用。TEL Vigus蚀刻机的平台由底架、真空室、蚀刻室和控制单元组成。底架容纳腔室和控制单元，提供机械稳定性和坚固的基础。这些腔室设计用于精确的温度和压力控制，并提供精确的均匀和可重复的蚀刻/灰分处理。控制单元包含真空泵、温度控制器、过程监控系统和配方，以及控制过程参数的PLC，以及蚀刻器的电源。TOKYO ELECTRON VIGUS有6种製程气体，可以以精确的流量、速度和压力输送到製程室。这使得在同时处理多个晶片时可以精确控制蚀刻/灰分处理，实现紧密的均匀性和重复性。提供了一个石英视口,用于对过程进行目视检查。Vigus还集成了许多额外的过程和功能。为了帮助确保过程的可重复性,提供了用于晶圆存储、加载和卸载的堆迭机制。原位计量能力允许精确的过程控制，无需额外的外部计量。流程配方可以快速调整,并通过RS232C接口从PC传输。TEL/TOKYO ELECTRON Vigus的真空室装有差速泵。这样可以实现快速的泵降时间和非常稳定的低压环境。环境室最多可容纳200毫米基板，还可添加一个可选的大批次板（400mm）。这为TEL Vigus提供了处理各种基材的灵活性。TOKYO ELECTRON VIGUS是一种可靠、精密的蚀刻器/asher，能够处理各种底物。它提供了高度的过程控制和统一性，允许用户实现他们所期望的和可重复的过程结果。