二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #9270936 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus是一款先进的蚀刻器/asher，用于半导体工业中，用于硅等材料的精密蚀刻、成型和图样。这种高科技设备基于几项关键技术，使其能够提供卓越的准确性和可重复性。其先进的蚀刻工艺涉及一种闭环控制设备，可以精确监控和调整蚀刻图桉尺寸。TEL Vigus提供了一个多功能的蚀刻室和基板级组件,它允许对复杂的特征（如通孔、BGA盖和厚元件）进行阵列化和蚀刻。这种精确蚀刻精确特性的能力使制造商能够显着降低工艺的可变性和产量损失。另外，TOKYO ELECTRON Vigus先进的光学元件通过减少光束暴露来减少蚀刻副产品。Vigus配备了双气体输送系统，供应不同气体进行蚀刻和侧壁覆盖。该系统可以不间断地完成蚀刻步骤，减少反应时间，优化蚀刻图样的均匀性。该蚀刻器还可以输出多种扫描模式，以允许在广泛的参数范围内精确控制蚀刻速度。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Vigus提供电容耦合等离子体（CCPMA）技术，根据使用的晶圆材料类型独立设定蚀刻功率。TEL Vigus也是为了安全稳定而设计的。高级控制单元具有自我诊断机器,用于检查程序错误,以防止可能的刀具损坏。此外,集成的安全资产可确保蚀刻器始终保持在指定参数内,即使稍作更改也是如此。总体而言，TOKYO ELECTRON Vigus是一款先进的蚀刻器/asher，为半导体生产提供了广泛的特性和能力。其先进的蚀刻技术提供了对蚀刻工艺的精确控制，而其双气体模型则减少了反应和蚀刻时间。集成的安全系统确保设备在要求最苛刻的半导体生产环境中保持稳定可靠。