二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #9276792 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Vigus是一款由顶级电子公司TEL开发的蚀刻器/asher。这台机器的设计目的是在各种基板的表面微观结构和制造过程中实现超高效率。TEL Vigus有能力对包括硅、砷化氙和氮化的一系列底物进行蚀刻、灰化和其他相关表面工艺。该机配备了深度控制沉积溅射设备和较大的动态范围进行蚀刻控制。它提供了出色的精度和均匀性,以及一个理想的界面处理不同类型的基板。此外,TOKYO ELECTRON Vigus还配备了多光束掩模对准系统,用于精确对准、高分辨率和电子束光刻速度,以及坚固的晶圆处理单元。这样可确保在高吞吐量下优化曲面处理,同时保持精确的形状和尺寸控制。该机由于模块化设计,易于维护和操作,使得个别零件的升级和维修成为可能。此外,它还配备了一台板载诊断机器,该机器与自动故障检测器集成在一起,可方便维护和快速响应潜在问题。最后,Vigus还配备了出色的售后服务以及培训和咨询服务,以确保从这台高级机器中获得各种好处。它提供超高性能和准确性,并将缺陷形成的风险降至最低,从而使用户能够加快产品开发过程。
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