二手 TES / TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT #293595225 待售

ID: 293595225
优质的: 2012
Dry etcher (4) Load ports BROOKS AUTOMATION Robot 2012 vintage.
TES/TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT etcher/asher是一种用于半导体工业的精密晶圆处理设备。它提供了精确且可重复的蚀刻和过程控制,专门为满足高级生产应用程序的需求而设计。TES CUMAX-FT提供卓越的蚀刻和过程控制,具有可靠的重复性。它能够提供高质量的蚀刻结果,并提高吞吐量和降低拥有成本。科学技术引擎CUMAX-FT可以处理尺寸不超过4英寸的晶片,并且具有0-20 μ m的可调蚀刻间隙,以实现卓越的工艺控制。其改进的设计包括多个蚀刻角度,提供一致的蚀刻结果,减少缺陷。它还具有处理各种蚀刻工艺的能力,包括干蚀刻、硅蚀刻和介电蚀刻工艺。CUMAX-FT的蚀刻室采用低体积、高真空约束的结构,保证了均匀的均匀蚀刻速率。它的自动腔室清洁能力减少了所需的维护周期,提高了流程的可重复性和整体效率。它还装有多个压力和温度传感器,用于精确控制工艺参数。TES/TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT还配备了用户友好的控制系统,方便设置和操作。它具有改进生产成果的先进工艺控制算法,精通快速过渡到生产的工艺配方实现。此外,系统还具有用于远程PC控制和离线数据记录功能的通信接口端口。TES CUMAX-FT是一款可靠的蚀刻引擎,非常适合高精度应用。其先进的特性和可靠的可重复性使其成为生产环境的绝佳选择。此外,它易于使用,因此适合集成到任何研发或生产设置中。
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