二手 TES / TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT #293609671 待售

ID: 293609671
Dry etcher.
TES/TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT是一款功能强大、多应用的蚀刻设备,旨在满足研发和制造实验室的需求。该系统结合了可靠和先进的技术,使用户能够获得最高的准确性、可重复性和灵活性,同时提供经济高效的解决方桉。TES CUMAX-FT蚀刻器设计为提供所有材料的一致和均匀的薄膜沉积,使其适合广泛的应用。科学技术引擎CUMAX-FT是一个基于抗蚀剂的单元,这意味着基板的区域被称为抗蚀剂的带正电荷的层保护,然后有选择地去除该层以蚀刻保护区。该机利用两种初级能源实现这一目标,微波和直流电(DC)。CUMAX-FT微波源的最大功率输出为200瓦,频率为2.45GHz,主要用于蚀刻。直流电源可调0-200伏,可用于蚀刻和防蚀剂拆卸。对于高级蚀刻应用,TES/TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT提供高精度脉冲蚀刻功能,以提供最小失真的优化蚀刻轮廓。TES CUMAX-FT还配备了独特的自动化工具,最大限度地减少了人工干预的需求。自动化资产能够完全控制所有设置参数和过程,从晶片加载到配方创建、执行和后处理。这使用户能够设置广泛的参数,包括蚀刻图样、线宽、长宽比、蚀刻角度、基板偏差和曝光能力,并完全确信其期望的结果将以最小的变化来实现。科学技术引擎CUMAX-FT旨在提供直观和用户友好的界面,以方便快速和准确的蚀刻结果。为了提高灵活性和可用性,该模型支持手动和自动操作。制造商提供的工厂加载配方使快速执行蚀刻操作变得更加容易,而无需进行大量编程。此外,还可以使用诊断工具来帮助监控流程并提醒操作员任何潜在错误。来自TES的CUMAX-FT蚀刻系统提供无与伦比的性能和准确性,非常适合满足任何研究、开发或制造实验室的需求。先进的技术与直观的用户界面的独特结合,使其成为以最少的时间和精力实现一致、高质量的结果的绝佳选择。
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