二手 TOK OAPM-301B #9111751 待售

TOK OAPM-301B是一种高性能的蚀刻器/灰泥设备,设计用于需要对基板进行精密蚀刻/灰泥处理的各种应用。它采用了最先进的设计,具有紧凑、易于操作的系统,适合手动和自动操作。OAPM-301B设计用于提供基材的快速蚀刻和/或粉刷,并具有卓越的可重复性以获得一致的结果。TOK OAPM-301B配备了高功率、高效的等离子体蚀刻器。电源能够提供广泛的电源设置,以匹配蚀刻或灰化应用程序,从而在各种基板上提供最佳性能。该蚀刻器从一个单独的源中汲取惰性大气，并在蚀刻或灰化过程中将其与等离子体溷合。等离子体功率水平可以从0瓦调整到600瓦，使得这个单元非常适合轻重蚀刻或灰化应用。OAPM-301B具有一个温度控制的基板支架和一个独立的四级真空室，允许快速循环时间和均匀疏散蚀刻或灰化环境。该真空机由水/乙二醇工具控制和维护，以确保最佳性能和可重复性。腔室具有0至10 mbars绝对的低压范围和0至10kHz的宽频率范围。该资产设计为易于使用,具有直观的用户界面以及清晰标记和组织的控制旋钮和按钮。还提供各种可选的附加组件,包括自动开门/关闭、自动操作模型、用户可编程配方和自动搅拌功能。所有这些特性使得TOK OAPM-301B精密蚀刻或灰化应用的绝佳选择。